微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）也就是微小的机械电子系统，是一种将微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术，它是以半导体制造技术为基础发展起来的。课题组紧跟产业化需要，着重开展微机械系统器件的工程应用研发和产业化工作。通过对市场前景调研，依托苏州纳米所先进的加工平台和测试平台进行相关微机械系统器件的结构设计和测试验证，不断探索和改进结构设计和加工工艺，旨在设计制造出性能优良的微机械器件。课题组现有的主要研究方向为：MEMS激光扫描投影系统、人脸识别扫描光源系统、激光雷达系统、工业三维检测光源系统等。我们竭诚欢迎对MEMS感兴趣且有探索精神的青年朋友加入课题组。