课题组简介

        微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)也就是微小的机械电子系统,是一种将微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术,它是由半导体制造技术为基础发展起来的。课题组紧跟产业化需要,着重开展微机械系统器件的工程应用研发和产业化工作。通过对市场前景调研,进行相关微机械系统器件的结构设计和验证,依托苏州纳米所先进的加工平台进行器件的加工工艺技术的深入研究,并利用课题组已有设备和纳米所测试平台进行相关器件的测试验证,不断的探索和改进结构设计和加工工艺,旨在设计制造出性能优良的微机械器件。课题组现有的主要研究方向为:激光像源扫描振镜系统、用于在线监测磁阻的微探针系统、基于多孔硅的超级电容器。我们竭诚欢迎对MEMS感兴趣且有探索精神的青年朋友加入课题组。